NanoTube N3 -瑞典Excillum 液态金属靶光源_北京优纳珂科技有限公司

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产品名称：NanoTube N3 -瑞典Excillum 液态金属靶光源

品牌：Excillum

产地：瑞典

产品介绍：Excillum NanoTube N3光源能够全电压范围内实现最高的成像分辨率。目前有60、110 和 160 kV三款产品产品特点：Excillu

产品介绍技术参数解决方案产品展示

产品介绍：

Excillum NanoTube N3光源能够全电压范围内实现高成像分辨率。目前有60、110 和 160 kV三款产品。

产品特点：

Excillum NanoTube N3 能够在X-射线成像系统中实现优秀的分辨率与稳定性。NanoTube N3 基于先进的电子光学技术和钨-金刚石透射靶技术，拥有自动电子束聚焦和像散校正功能，能够产生小且圆的焦点。此外，NanoTube N3能够内部测量并反馈当前的焦斑尺寸；先进的冷却设计保证在长时间曝光下光源的高稳定性。因此，该设备能够实现150 nm 线宽与间距（线对的真实分辨率）。

产品优势：

优秀的焦斑质量，自动电子束聚焦实现圆形焦点。
在全kV范围内实现150 nm分辨率。
内置焦点尺寸测量。
束流消隐功能，可实现脉冲工作模式并使辐射剂量微量化。
长寿命阴极。
在焦斑位置保持不变情况下，可调焦斑尺寸和功率。
锥形前端设计，提供优秀的几何可达性。

NanoTube N3	160 kV	110 kV	60 kV
电压	40-160 kV	40-110 kV	40-60 kV
靶功率	16.6 W	9.2 W	3.6 W
高亮度发射体	六硼化镧LaB₆
靶材	钨（W）-金刚石
分辨率	150 nm
靶材类型	透射靶
焦物距	150 µm
长期焦点稳定性	< 100 nm

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